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產(chǎn)品型號：STGP-80-12
爐膛尺寸：Φ80x1200mm
額定溫度：1200℃
控溫精度：±1℃
應(yīng)用領(lǐng)域：PECVD系統(tǒng)（等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)）由管式爐、真空獲得、流量控制和射頻電源四大模塊組成， 本設(shè)備借助13.56Mhz的射頻輸出使含有薄膜組成原子的氣體電離，在真空腔體內(nèi)形成等離子體，利用等離子的強(qiáng)化學(xué)活性，改善反應(yīng)條件，使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而實(shí)現(xiàn)薄膜材料生長的一種新的制備技術(shù)，得到基片上沉積出所期望的薄膜，適用于1200℃條件下進(jìn)行SiO2、SiNx薄膜的沉積。
全國咨詢熱線 18637977060
1、CVD管式爐系統(tǒng)由管式爐、真空獲得、流量控制和射頻電源
2、管式爐可選擇不同的管徑和恒溫區(qū)的長度，爐管兩端裝有高真空不銹鋼密封法蘭；
3、真空獲得系統(tǒng)可根據(jù)試驗(yàn)要求選擇不同的真空泵，旋片式機(jī)械真空泵真空度≤5pa，分子泵真空機(jī)組真空度1×10-4pa；
4、氣路供氣系統(tǒng)可選擇3路浮子手動和3路自動質(zhì)量流量系統(tǒng)
5、真空測量為數(shù)字復(fù)合真空機(jī)或皮拉尼真空計
6、等離子體放電選擇13.56Mhz的設(shè)備電源，功率輸出可選擇200W、300W和500W
7、管式爐可選擇單溫區(qū)440mm，也可選擇三溫區(qū)或多溫區(qū)進(jìn)行溫度的梯度試驗(yàn)
8、溫控器內(nèi)置的RS485數(shù)字通信端口和USB適配器作為可選配置，可連接PC，用于系統(tǒng)的遠(yuǎn)程控制和監(jiān)視，還可以保存或?qū)С鰷y試結(jié)果。
9、產(chǎn)品符合歐盟CE標(biāo)準(zhǔn)。
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型號 |
STGP-40-12 |
STGP-60-12 |
STGP-80-12 |
STGP-100-12 |
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爐管尺寸 |
Φ40 x 1200mm |
Φ60 x 1200mm |
Φ80 x1200mm |
Φ100 x 1200mm |
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額定溫度 |
1200℃ |
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工作溫度 |
1100℃ |
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加熱區(qū)尺寸 |
440mm |
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電源電壓 |
220V/1.8KW |
220V/2.6KW |
220V/2.6KW |
220V/2.6KW |
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加熱元件 |
HRE鐵鉻鋁合金電阻絲 |
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爐膛材料 |
濕法真空抽濾成型制備的多晶無機(jī)氧化鋁陶瓷纖維材料 |
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爐管材料 |
石英管 |
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控溫精度 |
±1℃ |
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測溫元件 |
N型熱電偶 |
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溫控儀表 |
智能微電腦PID溫控儀表，SCR/SSR控制，PID參數(shù)自整定功能；可編程序4組8個程序段，程序升溫、程序保溫、程序降溫 |
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升溫速度 |
1-25℃/min自由調(diào)節(jié) |
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爐體結(jié)構(gòu) |
爐膛溫控一體式結(jié)構(gòu)，爐膛開合式；雙層外殼，空氣循環(huán)隔熱 |
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密封性能 |
爐管兩端裝有不銹鋼金屬法蘭，配套高溫 PTFE 墊圈，可在真空下進(jìn)行工作， 真空度≤5pa（旋片式真空泵） |
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射頻電源 |
頻率：13.56 MHz±0.005%，功率：5W-500W，功率穩(wěn)定性 ：±0.5% |
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氣體控制 |
可選擇3路浮子手動流量計，量程60-600ml /min；3路自動質(zhì)量流量計，量程1-500sccm |
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氣氛性能 |
法蘭兩端有進(jìn)氣口和出氣口，壓力表裝在金屬法蘭上，精密針型閥可調(diào)節(jié)進(jìn)氣和出氣量，可通入氮?dú)狻鍤狻錃獾缺Ｗo(hù)氣體 |
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氣路接口 |
KF25真空擋板閥和KF25不銹鋼波紋管連接真空泵；保護(hù)氣氛6mm不銹鋼卡套接頭和PTFE管路 |
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設(shè)備保護(hù) |
模塊化控制，對工作過程中的超溫、斷偶會發(fā)出聲光報警信號，并自動完成保護(hù)動作 |
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人員保護(hù) |
在設(shè)備上裝有空開斷路器，如發(fā)生短路漏電情況時會自動彈開，能保護(hù)設(shè)備和操作人員 |
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外殼 |
優(yōu)質(zhì)冷軋鋼板數(shù)控機(jī)床下料加工，經(jīng)過焊接、打磨、拋光、磷化、酸洗、表面靜電噴涂塑粉 |
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質(zhì)量認(rèn)證 |
ISO9001 ??CE ???SGS |
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1、產(chǎn)品的制造和檢測嚴(yán)格按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行，并有質(zhì)量記錄可査;每臺設(shè)備都有唯一的制造編號，并建立用戶檔案。
2、所有產(chǎn)品均可通過權(quán)威的第三方檢測機(jī)構(gòu)檢測;也可委托我方代為辦理，費(fèi)用另計。
3、交貨期承諾: 按合同約定執(zhí)行;如有特殊原因需提前交貨的，我公司在條件允許的情況下特別組織生產(chǎn)，力爭滿足用戶需求。
1、產(chǎn)品的制造和檢測嚴(yán)格按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行，并有質(zhì)量記錄可査;每臺設(shè)備都有唯一的制造編號，并建立用戶檔案。
2、所有產(chǎn)品均可通過權(quán)威的第三方檢測機(jī)構(gòu)檢測;也可委托我方代為辦理，費(fèi)用另計。
3、交貨期承諾: 按合同約定執(zhí)行;如有特殊原因需提前交貨的，我公司在條件允許的情況下特別組織生產(chǎn)，力爭滿足用戶需求。
